Messanordnung zur Bestimmung der Position eines Beweglichen Bauteils

WO2025051639 Art A1 13. März 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025051639
Aktenzeichen: EP24765386
Anmeldetag: 30. August 2024
Veröffentlichung: 13. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G01B9/02003G01B9/02001G01B9/02018G01B9/02017

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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