Optical device for inspection, defect inspection device, irradiation optical system, and inspection method

WO2025052563 Art A1 13. März 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025052563
Aktenzeichen: EP23951465
Anmeldetag: 6. September 2023
Veröffentlichung: 13. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/01G01N21/64G01N21/956H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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