Titanium oxide-based chemical-mechanical polishing composition for heavily-doped boron silicon films

WO2025054089 Art A1 13. März 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025054089
Aktenzeichen: EP24863467
Anmeldetag: 30. August 2024
Veröffentlichung: 13. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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