Support structure for an illumination optical unit of a projection exposure apparatus

WO2025056239 Art A1 20. März 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025056239
Aktenzeichen: EP24751670
Anmeldetag: 31. Juli 2024
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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