An optical filter, a heterodyne interferometer system comprising the filter, and a method for filtering an input beam for a heterodyne interferometer

WO2025056241 Art A1 20. März 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025056241
Aktenzeichen: EP24751287
Anmeldetag: 1. August 2024
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02003G01B9/02001G01B9/02056G02B5/28G02B17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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