Real time recipe tuning for inspection system

WO2025056262 Art A1 20. März 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025056262
Aktenzeichen: EP24755295
Anmeldetag: 13. August 2024
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06V10/82G06V20/52

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

Vertreten von