Systems and methods for beam alignment in multi charged-particle beam systems

WO2025056308 Art A1 20. März 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025056308
Aktenzeichen: EP24762613
Anmeldetag: 26. August 2024
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/09H01J37/147H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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