Method and device for correcting an imaging error of a particle beam during sample processing

WO2025056444 Art A1 20. März 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025056444
Aktenzeichen: EP24768916
Anmeldetag: 9. September 2024
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153H01J37/21H01J37/304H01J37/305H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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