Laser device and method for manufacturing electronic device

WO2025057324 Art A1 20. März 2025

Anmelder: GIGAPHOTON INC., INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, N 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025057324
Aktenzeichen: EP23952218
Anmeldetag: 13. September 2023
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/13H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION, N
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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