Pinhole and deaeration failure inspection method for bag body in which sealed storage container is hermetically packaged, and pinhole and deaeration failure inspection device for bag body in which sealed storage container is hermetically packaged

WO2025057644 Art A1 20. März 2025

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025057644
Aktenzeichen
EP24865150
Anmeldetag
13. August 2024
Veröffentlichung
20. März 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/673G01M3/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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