Substrate processing apparatus, substrate processing system, and substrate processing method

WO2025058421 Art A1 20. März 2025

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025058421
Aktenzeichen: EP24865860
Anmeldetag: 12. September 2024
Veröffentlichung: 20. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H10K71/10H10K71/40H10K30/50H10K30/82H10K30/40H10K30/15H10K85/50H10K30/86H10K30/85H10K39/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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