Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Position einer Leckage an einem Bauteil

WO2025061363 Art A1 27. März 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025061363
Aktenzeichen: EP24751754
Anmeldetag: 5. August 2024
Veröffentlichung: 27. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01M3/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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