Canister and substrate treatment apparatus

WO2025063553 Art A1 27. März 2025

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025063553
Aktenzeichen
EP24868532
Anmeldetag
3. September 2024
Veröffentlichung
27. März 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/448C23C16/458C23C16/455B01F27/96H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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