Reclamation of hydrogen halides in dry development of photoresists

WO2025064348 Art A1 27. März 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025064348
Aktenzeichen: EP24868992
Anmeldetag: 16. September 2024
Veröffentlichung: 27. März 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/36G03F7/004B01D53/00B01D53/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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