Sapphire lamp for laser sustained plasma broadband light source
WO2025064450
Art A1
27. März 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025064450
- Aktenzeichen
- EP24869036
- Anmeldetag
- 18. September 2024
- Veröffentlichung
- 27. März 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/147H01J37/28H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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