Contacts For Reducing Wear in A Reticle Container

WO2025064929 Art A1 27. März 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025064929
Aktenzeichen
EP24869331
Anmeldetag
20. September 2024
Veröffentlichung
27. März 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/66H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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