Monolithic multi-aperture plate for a multi-beam electron beam system

WO2025067693 Art A1 3. April 2025

Anmelder: CARL ZEISS MULTISEM GMBH, FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025067693
Aktenzeichen: EP24782454
Anmeldetag: 17. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/12H01J37/147H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS MULTISEM GMBH
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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