A method of spectrally configuring measurement illumination of a metrology tool and associated apparatuses

WO2025067761 Art A1 3. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025067761
Aktenzeichen: EP24755033
Anmeldetag: 15. August 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F9/00G02B27/10G02B5/18G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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