Systems and methods for contactless measurement of energy barriers during device fabrication

WO2025067791 Art A1 3. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025067791
Aktenzeichen: EP24761943
Anmeldetag: 26. August 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N23/00H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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