Fast high voltage for ionization improvement for sputtering process

WO2025067827 Art A1 3. April 2025

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, UNIVERSITÉ DE LORRAINE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025067827
Aktenzeichen: EP24765613
Anmeldetag: 3. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32F03H1/00H01J37/34H05H1/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
UNIVERSITÉ DE LORRAINE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

13.096 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Université de Lorraine

Die Université de Lorraine ist eine französische Universität mit breiter naturwissenschaftlicher und medizinischer Forschung. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Mess- und Werkstofftechnik sowie Pharma- und Chemieforschung ab.

315 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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