Stabilization of a repaired region of an object for lithography

WO2025067865 Art A1 3. April 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025067865
Aktenzeichen: EP24768965
Anmeldetag: 10. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/74C23C28/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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