Messvorrichtung, Verfahren zum Betreiben der Messvorrichtung

WO2025068322 Art A1 3. April 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025068322
Aktenzeichen: EP24782507
Anmeldetag: 25. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B5/00G01B9/02055G01B11/24G01B11/26

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von