Imaging system, electromagnetic wave irradiation system, measurement method, and program

WO2025069291 Art A1 3. April 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025069291
Aktenzeichen
EP23954267
Anmeldetag
27. September 2023
Veröffentlichung
3. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01C3/06A01M27/00G01S7/481G01S17/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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