Beam scanning apparatus, processing apparatus, and processing method

WO2025069363 Art A1 3. April 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION, NIKON SLM SOLUTIONS AG 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025069363
Aktenzeichen: EP23789798
Anmeldetag: 29. September 2023
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B22F10/28B22F12/90

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
NIKON SLM SOLUTIONS AG
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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