In-situ fluorescence-based chamber and wafer monitoring

WO2025071747 Art A1 3. April 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025071747
Aktenzeichen: EP24873236
Anmeldetag: 26. Juli 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/64G01N21/21G01N21/47H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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