Method for predicting ion source failure

WO2025071990 Art A1 3. April 2025

Anmelder: INFICON, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025071990
Aktenzeichen: EP24873331
Anmeldetag: 17. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244H01J49/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INFICON, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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