Chemical sensor for automatic flow compensation of mass flow controller

WO2025072547 Art A1 3. April 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025072547
Aktenzeichen: EP24873605
Anmeldetag: 26. September 2024
Veröffentlichung: 3. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52C23C16/448C23C16/455H01L21/67H01L21/02G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von