A method of refurbishing a substrate support

WO2025073433 Art A1 10. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025073433
Aktenzeichen: EP24768316
Anmeldetag: 10. September 2024
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01J37/32H01L21/687G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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