Broadband Light Source Assembly

WO2025073435 Art A1 10. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025073435
Aktenzeichen
EP24768562
Anmeldetag
10. September 2024
Veröffentlichung
10. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/35G02F1/365
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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