Methods and assemblies for wavelength calibration

WO2025073459 Art A1 10. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025073459
Aktenzeichen: EP24769395
Anmeldetag: 17. September 2024
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01J3/28G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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