Laser apparatus, method for controlling wavelength of laser apparatus, and method for manufacturing electronic device

WO2025074617 Art A1 10. April 2025

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025074617
Aktenzeichen: EP23954825
Anmeldetag: 6. Oktober 2023
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/0941H01S3/10H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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