Temperature measurement assembly, substrate processing device, substrate processing method, manufacturing method for semiconductor device, and program

WO2025074667 Art A1 10. April 2025

Anmelder: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025074667
Aktenzeichen: EP24874286
Anmeldetag: 21. März 2024
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01K1/08G01K1/14G01K7/02H01L21/31H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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