Surface Treatment Enabling Super-Conformal Metal Cap Profile On Middle Of-Line (mol) Silicides

WO2025075874 Art A1 10. April 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025075874
Aktenzeichen: EP24875193
Anmeldetag: 27. September 2024
Veröffentlichung: 10. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/321H01L21/285H01L21/3205H01L21/768H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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