Multi core waveguides for semiconductor metrology systems and methods

WO2025078074 Art A1 17. April 2025

Anmelder: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I, STICHTING VU, UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM, ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025078074
Aktenzeichen: EP24768018
Anmeldetag: 3. September 2024
Veröffentlichung: 17. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK I
STICHTING VU
UNIVERSITEIT VAN AMSTERDAM
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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