Magnetic levitation positioner assembly for use in a lithographic apparatus, lithographic apparatus therewith, method of operating the assembly and method of manufacturing devices comprising the method of operating or using the apparatus

WO2025078087 Art A1 17. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025078087
Aktenzeichen: EP24768307
Anmeldetag: 9. September 2024
Veröffentlichung: 17. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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