Temperature control stage and inspection device

WO2025079503 Art A1 17. April 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TOMOEGAWA CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025079503
Aktenzeichen: EP24877099
Anmeldetag: 3. Oktober 2024
Veröffentlichung: 17. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G01R31/26H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TOMOEGAWA CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

256 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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