Film forming method, method for manufacturing semiconductor device, and film forming system

WO2025079541 Art A1 17. April 2025

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025079541
Aktenzeichen
EP24877137
Anmeldetag
7. Oktober 2024
Veröffentlichung
17. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/316C23C16/04C23C16/40H01L21/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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