An optomechanical pressure-measurement system as well as a method for determining an ambient pressure level using such optomechanical pressure-measurement system

WO2025080140 Art A1 17. April 2025

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025080140
Aktenzeichen
EP24794525
Anmeldetag
14. Oktober 2024
Veröffentlichung
17. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01L7/08G01D5/353G01L9/00G01M11/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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