Circulation of non-pfas fluids in liquid and supercritical fluid states through substrate processing system components

WO2025080412 Art A1 17. April 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025080412
Aktenzeichen: EP24877766
Anmeldetag: 25. September 2024
Veröffentlichung: 17. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67F25D17/02F25D29/00C09K5/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

Vertreten von