Metrology system with twin planar motor stage
WO2025080454
Art A1
17. April 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025080454
- Aktenzeichen
- EP24877785
- Anmeldetag
- 30. September 2024
- Veröffentlichung
- 17. April 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/21G01R33/00G01R33/07G01N21/17
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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