High performance cmp multidisk apparatus

WO2025080491 Art A1 17. April 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025080491
Aktenzeichen
EP24877802
Anmeldetag
3. Oktober 2024
Veröffentlichung
17. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
B24B53/017B24B53/007B24B37/34H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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