Monitoring Of Hf in Buffered Hydrofluoric Acid (bhf)

WO2025080511 Art A1 17. April 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025080511
Aktenzeichen
EP24877817
Anmeldetag
7. Oktober 2024
Veröffentlichung
17. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/359G01N21/73G01N1/32G01J3/443
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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