Silicon-Containing Films Having Surfaces Modified From Halogenated Silicon-Containing Compounds

WO2025080587 Art A2 17. April 2025

Anmelder: VERSUM MATERIALS US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025080587
Aktenzeichen: EP24798995
Anmeldetag: 8. Oktober 2024
Veröffentlichung: 17. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/02C23C16/30C23C16/34C23C16/36C23C16/455H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: VERSUM MATERIALS US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von