A method and system for monitoring a degas chamber using a photoionization detector and a residual gas analyzer

WO2025080660 Art A1 17. April 2025

Anmelder: INFICON, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025080660
Aktenzeichen: EP24877899
Anmeldetag: 9. Oktober 2024
Veröffentlichung: 17. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/64G01N27/66G01N33/00H01L21/67G01T1/185

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INFICON, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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