Cooling method and apparatus of scanning electron microscope column

WO2025082859 Art A1 24. April 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025082859
Aktenzeichen: EP24790344
Anmeldetag: 10. Oktober 2024
Veröffentlichung: 24. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: F28D15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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