Apparatus for non-immersive wet-chemical treatment of a planar sub-strate, device for holding the substrate and system for transporting the substrate

WO2025083013 Art A1 24. April 2025

Anmelder: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH&CO. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025083013
Aktenzeichen
EP24790531
Anmeldetag
16. Oktober 2024
Veröffentlichung
24. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23C18/16B05B1/04B05B13/02B65D83/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH&CO. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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