Stage device, lithography device, and method for manufacturing article

WO2025084244 Art A1 24. April 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025084244
Aktenzeichen: EP24879669
Anmeldetag: 11. Oktober 2024
Veröffentlichung: 24. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68G03F7/20G05B11/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von