Spectra Delta Metrology

WO2025085304 Art A1 24. April 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025085304
Aktenzeichen
EP24880407
Anmeldetag
10. Oktober 2024
Veröffentlichung
24. April 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/956G01N21/88G01N23/083G01N23/2251
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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