Auxiliary flow plate for thickness and concentration uniformity and adjustability

WO2025085341 Art A1 24. April 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025085341
Aktenzeichen: EP24880416
Anmeldetag: 11. Oktober 2024
Veröffentlichung: 24. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/10C30B25/14C30B25/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von