Process gas delivery control system with concentration monitoring

WO2025085356 Art A1 24. April 2025

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025085356
Aktenzeichen: EP24880423
Anmeldetag: 14. Oktober 2024
Veröffentlichung: 24. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/52C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von